精密XY平台,气浮轴承,陶瓷制品部件,气浮滑轨　MOTION TRUST

使用各种部材按客户要求定制制作。气动滑块用的横梁，可以满足长度的对应。请先询问。

陶瓷制品　气浮滑轨用横梁

规格
素材	矾土(99.5%)
尺寸	2,500x360x200mm
精度	平面度・平行度 5μm

多孔质吸附板

规格
气孔直径	210x300mm
気孔径	φ40μm
面精度	10μm以下(实绩值)
材质	陶瓷（绝缘体）
表面颜色	除去光泽黑色
吸附性能	平台表面压力 -10kPa以下
吸附顺序	从中央到端部
设置底座	花岗石