精密XY平台,气浮轴承,陶瓷制品部件,气浮滑轨　MOTION TRUST

半导体制造设备XYZθ倾斜平台

※X轴(上轴)：为气浮导轨规格、Y轴(下轴)：直线导轨规格

规格	X轴(上轴)	Y轴(下轴)	Z轴	Θ轴
外形尺寸	1,300＊1,400＊410mm
行程	400mm	400mm	8mm	±10arcsec
最大速度	300mm/sec	300mm/sec	-	-
最大加速度	0.3G	0.3G	-	-
减速后的整定时间	90msec (整定幅度0.2μm)	110msec (整定幅度0.2μm)	150msec (整定幅度0.16arcsec)	20msec (整定幅度1μm)
静止时的稳定性	±0.04μm	±0.02μm	±0.01μm	±0.12arcsec

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半导体测试设备气浮滑轨XY平台

※精度保证范围：150mm行程、速度：100mm/sec

规格	X轴(上轴)	Y轴(下轴)
外形尺寸	2,000＊1,350＊515mm
行程	275mm	225mm
重复定位精度	±0.03μm	±0.02μm
直线度(水平)	0.3μm	0.3μm
直线度(垂直)	0.3μm	0.3μm
Pitch	0.9秒	0.8秒
Yaw	0.8秒	0.3秒
Roll	1.0秒	1.0秒
静止时的稳定性	10.75nm(p-p)	16.5nm(p-p)

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半导体制造设备XYZθ平台(搭载1.5D编码器)

规格	X轴(上轴)	Y轴(下轴)	Z轴	Θ轴
外形尺寸	1,100＊1,005＊720mm
行程	120mm	200mm	5mm	2.0度
重复定位精度	±0.032μm	±0.024μm	±0.050μm	±0.069秒
直线度(水平・动态)	0.72μm	0.45μm	-	-
Yaw(静态)	1.96秒	0.37秒	2.0秒	-
Roll(静态)	1.59秒	-	0.20秒	-
静止时的稳定性	-	-	-	±39nm

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用于PCB制造设备的XYZθ平台

规格	X轴(上轴)	Y轴(下轴)	Z轴	Θ轴
外形尺寸	1,450＊1,650＊1,355mm
行程	340mm	390mm	10mm	±1.0度
绝对定位精度(改正后)	±0.37μm	±0.10μm	-	-
重复定位精度	±0.08μm	±0.02μm	±0.14μm	±0.18μm
直线度(水平)	0.29μm	1.29μm	-	-
Pitch(静态)	1.09秒	-	-	-
Yaw(静态)	0.33秒	-	-	-

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用于大型PCB制造设备的XYθ平台

规格	X轴(上轴)	Y轴(下轴)	Θ轴
外形尺寸	1,860＊2,270＊1,844mm
行程	620mm	1,100mm	±4mrad
重复定位精度	±0.069μm	±0.071μm	-
Yaw	3.35秒/200mm	1.14秒/200mm	-
Roll	1.63秒/200mm	2.37秒/200mm	-

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用于半导体和Micro LED制造设备的XY平台(高节拍规格)

规格	X轴(下轴)	Y轴(上轴)
外形尺寸	-
行程	±200mm	±175mm
最大速度	1,500mm/sec
最大(平均)加速度	2G
整定时间(完成定位的宽度±0.25μm)	29.3msec	14.8msec
重复定位精度	±0.05μm	±0.03μm
Pitch	6.04秒	8.89秒
Yaw	2.9秒	4.27秒
直线度(垂直)	1.91μm	4.08μm
直线度(水平)	2.54μm	2.51μm

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