精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト

高加速度での駆動と高精度位置決めを両立し、高タクト化を実現。且つ省スペース(ステージ高さ：175mm)で、各種加工機・実装機に応用可能。

整定波形(整定幅±0.25μm) 整定時間 : 5.85msec ステップ距離:+170mm / 指令速度:1500mm/s / 指令(平均)加速度:2.0G / サンプリング:2.222kHz

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