精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト

仕様

超高精度LIPシリーズ

• 信号周期　512nm
• Zerodur，精度等級　±1μm

超低ウェービング特殊LMガイド

• ウェービング　15nm以下
• 動的再現性　±25nm以下

倉敷化工株式会社製
空圧制御型アクティブ除振ユニットEST-Aタイプ

• 独自の制御方式で優れた除振＆制振性能を実現
• ジンバルピストン機構を内蔵し低固有値化による優れた基本性能

超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振台を組み合わせ、これまで転がり案内方式では実現できなかった運動再現性、速度安定性、停止安定性を大幅に向上しました。